电晕放电是产生臭氧的一种方式。产生机理为含氧气体O2分子在电晕放电时受到电晕自由高能作用而分离为游离O，之间碰撞聚合形成O3分子。化学反应式如下：O2+E=O+O+E     O+O2+M=O3+M   （M为空气中其它任一分子）
臭氧带有浓重腥臭味，人体嗅觉浓度在0.1PPm。它具有氧化性，但化学稳定性差易分解，常温常压下空气中分解半衰期约为16h。分解速率与温度和气氛化学成分有关，环境温度≥130℃时臭氧极速（1/1000秒）分解。
根据实验室试验结果表明，臭氧产生规律如下：
1） 与气体含氧量有关，氧量越高产生臭氧浓度越大；
2） 与电场电极几何形状有关，针刺电极产生的臭氧量少，且浓度随温度升高而下降；非_电极产生的臭氧浓度大，且随温度上升而递增；
3） 电场电压越高，产生臭氧浓度越大；
4） 气体流速越快，产生臭氧浓度越低；
5） 气体温度越高，产生臭氧浓度越大，但臭氧分解速度也加快。
为检测电袋复合除尘器在运行状态下电场区后端烟气是否存在臭氧成份，福大化工学院完成了南京梅山电厂50MW机组、洛河电厂300MW机组、新乡宝山电厂660MW机组3个电厂电袋复合除尘器现场进行烟气成份测试。结果表明，在除尘器电场区后端及出口处，均没有测试到臭氧成份。因此，在高温、低氧、多种其它活性成份的烟气条件下，电袋复合除尘器电场区产生的臭氧浓度极低且停留时间极短，对PPS滤袋使用寿命几乎不影响。
另外，电除尘器经过近_的应用历史，国内外至今没有关于电场产生臭氧而增加烟气腐蚀性的学术报道。2009年8月，福州大学化工学院组织前往华能福州电厂，在1台3电场结构电除尘器进出口端进行NO含量烟气测试，结果显示该电除尘器进口端与出口端的烟气中NO浓度变化微小。可见，布袋行业针对电袋复合除尘器提出了电场区产生臭氧增加烟气SO3、NO2浓度的质疑缺乏依据。
2009年4月，东北大学在_袋式除尘器技术研讨会上发表《臭氧对PPS滤料强力影响的实验研究》论文。论述了臭氧在2400-4200mg/m3试验浓度下， PPS滤料经过数十小时的浸泡后强力发生下降现象，说明了高浓度臭氧对PPS具有强氧化破坏性。而电袋复合除尘器实际工程应用中的烟气条件下，即使电场产生微量臭氧，其浓度不及东北大学破坏性试验浓度的1/10000。而目前电袋复合除尘器有70-80台设备在运行，仅龙净环保_有60多台。_长运行时间_5年，还有4年、3年、2年不等，工程应用中未发现因臭氧影响滤袋破损的情况。